Meet- en bewakingsmethode van filmdikte van moderne vacuümcoatingmachine

De meest directe coatingcontrolemethode is de Quartz Crystal Microbalance Method (QCM), die de verdampingsbron direct kan aansturen en het schot door PID-regeling kan laten lopen om de verdampingssnelheid te handhaven. Zolang het instrument is verbonden met de systeembesturingssoftware, kan het het hele coatingproces besturen. Maar de nauwkeurigheid van (QCM) is beperkt, deels omdat het de kwaliteit van de coating controleert die wordt afgezet in plaats van de optische dikte ervan.

Ook, terwijl de QCM zeer stabiel is bij lagere temperaturen, wordt het zeer temperatuurgevoelig bij hogere temperaturen. Bij langdurige verhitting is het moeilijk te voorkomen dat de sensor in dit gevoelige gebied valt, waardoor er aanzienlijke fouten in de film ontstaan.

Optische bewaking is de voorkeursmethode voor bewaking van coatings met hoge precisie, omdat het een nauwkeurigere controle van de laagdikte mogelijk maakt (mits correct gebruikt). De verbetering van de nauwkeurigheid vloeit voort uit vele factoren, maar de meest fundamentele reden is het bewaken van de optische dikte.

Het OPTIMAL SWA-I-05 optische controlesysteem met één golflengte gebruikt indirecte meting en controle, gecombineerd met geavanceerde optische controlesoftware ontwikkeld door Dr. Wang, om de theorie en methode van optische responsgevoeligheid voor veranderingen in filmdikte effectief te verbeteren. de ultieme fout te verminderen, feedback of transmissiekeuze van modi en een breed scala aan bewakingsgolflengten te bieden. Het is met name geschikt voor het bewaken van coatings van verschillende laagdiktes, inclusief het bewaken van onregelmatige film.