Vacuümmetaliserende apparatuur

Zijn PVD-coatings veilig?

Fysische dampafzettingsprocessen zijn een milieuvriendelijke of "plating" -techniek die de hoeveelheid giftige stoffen die moet worden gebruikt, beheerd en verwijderd, aanzienlijk vermindert in vergelijking met andere "natte" processen waarbij vloeibare precursors en chemische reacties worden gebruikt om hetzelfde resultaat te bereiken . Omdat het in staat is om extreem zuivere, schone en duurzame coatings te produceren, is Physical Vapour Deposition de technologie bij uitstek voor de chirurgische en medische implantaatindustrie.

Weet jij wat een coatingmachine is? Het verwijst voornamelijk naar een type coating dat moet worden uitgevoerd onder een hoge mate van vacuüm, waaronder vele soorten, waaronder vacuümionenverdamping, magnetronsputteren, MBE-moleculaire bundelepitaxie, PLD-lasersputterdepositie en vele andere.

Het vacuümsysteem omvat een mechanische pomp, een cryogene pomp, een voorbewerkingsklep, een voorleidingklep, een schuifafsluiter en een vacuümmeter voor vacuümdetectie. Tijdens magnetronsputteren moet de invloed van stikstof, zuurstof en waterdamp op het proces worden geminimaliseerd, dus de vacuümgraad moet lager zijn dan 0.13 mPa ~ 4 Pa. Over het algemeen worden Nowdry-pomp en cryogene pomp gebruikt. De droge pomp wordt gebruikt om laagvacuüm te pompen. In vergelijking met de originele mechanische oliepomp kan het voorkomen dat de olie en het gas in de oliepomp de vacuümkamer binnendringen, het substraat vervuilen en de hechting tussen de film en het substraat verminderen. Gewoonlijk wordt, nadat de droge pomp onder 6,5 Pa is gepompt, de schuifafsluiter geopend en wordt de cryogene pomp gebruikt om hoogvacuüm te pompen. De cryogene pomp wordt gekenmerkt door een hoge pompsnelheid, vooral het vermogen om waterdamp te verwijderen is erg sterk.

Het sputtercoatingsysteem bestaat uit gelijkstroomvoeding, doelmateriaal, koelwater, permanente magneet, substraatverwarmingsinrichting, keerschot, afschermlaag, enz. Dit is het kernonderdeel van het magnetron-sputterstation. De gelijkstroomvoeding levert een negatieve hoogspanning van 300-1 000 V en past deze toe op het doel, zodat het doel zich bij de kathode bevindt en het substraat bij de anode. Koelwater wordt gebruikt om het doelmateriaal te koelen om te voorkomen dat de doeltemperatuur door sputteren te snel stijgt. De koelwaterleiding moet zijn gemaakt van isolerende materialen zoals plastic buizen, geen metalen buizen. Het substraatverwarmingsapparaat kan onzuiverheden zoals waterdamp op het substraat verwijderen, wat de hechting tussen de film en het substraat kan verbeteren. Bovendien kan voor sommige metalen een geschikte temperatuur de kwaliteit van de film verbeteren.

Sollicitatie

Parameter

Onze onderneming

Populaire tags: vacuüm metalliseerapparatuur, China, leveranciers, fabrikanten, fabriek, aangepast, kopen, prijs, offerte