Introductie van vacuümverdampingscoatingtechnologie

De vacuümverdampingscoatingtechnologie van fabrikanten van vacuümcoatingmachines omvat weerstandsverdampingscoating, elektronenstraalverdampingscoating, laserstraalverdampingscoating, hoogfrequente inductieverwarmingsverdampingscoating, enz. De volgende tabel geeft een overzicht van de kenmerken van verschillende verdampingscoatingtechnologieën.

1. Weerstandsverdamping plating: De weerstandsverdampingsbron wordt gebruikt om materialen met een laag smeltpunt te verdampen, zoals goud, zilver, zinksulfide, magnesiumfluoride, chroomtrioxide, enz. Weerstandsverdampingsbronnen zijn over het algemeen gemaakt van wolfraam, molybdeen en tantaal.

2. Elektronenbundelverdamping plating: Nadat het filmmateriaal is verdampt en verdampt door elektronenbundelverwarming, is het een belangrijke verwarmingsmethode in vacuümverdampingstechnologie om te condenseren en een film op het oppervlak van het substraat te vormen. Er zijn veel soorten van dergelijke apparaten. Met de brede toepassing van dunnefilmtechnologie zijn niet alleen de eisen voor de soorten membranen verschillend, maar ook de eisen voor de kwaliteit van de membranen zijn strenger. Weerstandsverdamping kan niet langer voldoen aan de behoeften van verdamping van sommige metalen en niet-metalen. De elektronenbundelwarmtebron kan een veel grotere energiedichtheid verkrijgen dan de weerstandswarmtebron en de waarde kan 104-109w / cm2 bereiken, zodat de film kan worden verwarmd tot 3000-6000c. Dit biedt een betere warmtebron voor het verdampen van vuurvaste metalen en niet-metalen materialen zoals wolfraam, molybdeen, germanium, SiO2, AI2O3, enz. Bovendien, omdat het te verdampen materiaal in een watergekoelde smeltkroes wordt geplaatst, kan de verdamping van het containermateriaal en de reactie tussen het containermateriaal en het filmmateriaal worden vermeden, wat uiterst belangrijk is voor het verbeteren van de zuiverheid van de film. Bovendien kan warmte direct aan het oppervlak van het filmmateriaal worden toegevoegd, zodat het thermische rendement hoog is en de warmtegeleiding en warmtestralingsverliezen klein zijn.

3. Hoogfrequente inductieverwarming verdamping plating: Het metaal wordt verwarmd tot de verdampingstemperatuur met behulp van het principe van inductieverwarming. Plaats de smeltkroes met het filmmateriaal in het midden van de spiraalspiraal (contactloos) en laat een hoogfrequente stroom door de spoel lopen, waardoor het metalen filmmateriaal stroom kan genereren om zichzelf op te warmen totdat het verdampt.

De kenmerken van de inductieverwarmingsverdampingsbron: 1) De verdampingssnelheid is groot 2) De temperatuur van de verdampingsbron is uniform en stabiel en het is niet eenvoudig om aluminium druppelspaatfenomeen te produceren 3) De verdampingsbron wordt in één keer opgeladen, er is geen draadtoevoermechanisme vereist, de temperatuurregeling is relatief eenvoudig, en de bediening is eenvoudig 4) Voor de film Zijn de zuiverheidseisen van het materiaal iets breder.

4. Arc verwarming verdamping plating: Een verwarmingsmethode vergelijkbaar met de elektronenbundel verwarmingsmethode is de boogontlading verwarmingsmethode. Het heeft ook de kenmerken van het vermijden van de verontreiniging van weerstandsverwarmingsmaterialen of smeltkroesmaterialen, en de verwarmingstemperatuur is hoog, vooral geschikt voor de verdamping van vuurvaste metalen, grafiet, enz. met een hoog smeltpunt en een bepaalde geleidbaarheid. Tegelijkertijd is de apparatuur die in deze methode wordt gebruikt eenvoudiger dan die van het elektronenbundelverwarmingsapparaat, dus het is een relatief goedkoop verdampingsapparaat.

5. Laserstraalverdamping plating: De methode om gepulseerde laser met hoge vermogensdichtheid te gebruiken om het materiaal te verdampen om een dunne film te vormen, wordt over het algemeen laserverdamping genoemd