Ontwerpkenmerken van multi-chip vergelijkingschipapparaat van vacuümcoatingmachine

1) Vaste cilinder 3 Het ontwerp van cilindrische vorm, grote diameter, dikwandige structuur en omtreksymmetrische bevestigingsmethode kan zorgen voor voldoende sterkte en stijfheid, en tegelijkertijd kan het ook voorkomen dat sputterend schuurmiddel bij hoge temperatuur de interne delen verontreinigt , om de flexibiliteit van de rotatie van de wijzerplaat 15 te garanderen .

2) Het ontwerp van de ronde lagerzitting 2 zorgt voor de afdichting en verticaliteit van de lagerzitting; vergroot de diameter van de as 1, vergroot de installatieafstand tussen de twee lagers in de lagerzitting 2, verbeter de eigen sterkte en stijfheid, zorg ervoor dat de stijfheid van de as 1 en de rotatieflexibiliteit van de wijzerplaat 15 tijdens het rotatieproces consistent zijn met de herhaalbaarheid van de positie.

3) Het laden van het transpositiemechanisme, door de diameter van de steunplaat 16 uit te breiden, wordt het effectieve gebied van het mechanisme in de vlakrichting vergroot en kan een vergelijkende film met een grote diameter (Φ26,5 mm) worden geïnstalleerd, wat bevorderlijk is voor de aanpassing van het optische pad en de kwaliteit van de optische film verbetert; Het vergelijkingsstuk 12 is gemaakt van een enkel stuk glas als vergelijkingsstukeenheid. Het vergelijkingsstuk neemt de ruimtelijke driedimensionale stapelinstallatiemethode over. Meerdere stukken glas worden gestapeld en geïnstalleerd in een vergelijkingsstuk opslagcilinder 13, zodat 50 ~ 100 stuks vergelijkingsstukken tegelijk kunnen worden geplaatst, wat het probleem van de coatingmachine oplost. Coating van meerlaagse precisie optische films, vergeleken met het probleem dat het kleine aantal vellen het aantal coatinglagen en de nauwkeurigheid beïnvloedt.

4) De samenwerking van de positioneringsplaat 6 en de sleuftype optische koppeling 17, door de optische koppeling van het sleuftype, worden de drie gelijk verdeelde 120 ° spleten op de positioneringsplaat gedetecteerd en wordt de rotatie van de motor geregeld om te stoppen. De consistentie van de rotatie en positionering van de as 1 wordt gegarandeerd herhaald en de wijzerplaat 15 wordt aangedreven om de nauwkeurige wijzerplaatactie te voltooien.

5) Het roterende afdichtingsinvoermechanisme wordt geïntroduceerd in het Wilson-afdichtingsmechanisme 5, dat er niet alleen voor zorgt dat de motor 9 de flexibele rotatie van de as 1 door tandwielgaas aandrijft, maar ook zorgt voor het afdichtingseffect van de vacuümkamer naar buiten. Het geoptimaliseerde ontwerp van het multi-chip vergelijkingsapparaat van de vacuümcoatingmachine heeft de volgende kenmerken: (1) Eenvoudige structuur, hoge sterkte en goede betrouwbaarheid; (2) Het aantal vergelijkingschips is groot, de productie-efficiëntie is verbeterd en ultra-meerlaagse precisie-optiek kan worden gecoat (3) De diameter van de vergelijkende film wordt verhoogd, de precisie van de filmbewaking wordt verbeterd, de vereisten voor het hardwaresysteem worden verminderd en het systeem is eenvoudig te realiseren automatische besturing; (4) De onderhoudskosten zijn laag.

Door het geoptimaliseerde ontwerp van het meerdelige vergelijkingsstukapparaat van de vacuümcoatingmachine, worden de flexibiliteit van de rotatie van het vergelijkingsstukmechanisme en de consistentie van herhaling gewaarborgd, en het kleine effectieve gebied van het vergelijkingsstuk, de ongemakkelijke aanpassing van het optische pad en de signaal-ruisverhouding van het optische signaal worden opgelost. Het lost ook het probleem op van minder belasting van vergelijkende platen, wat de kwaliteit van de optische film die door de bestaande vacuümcoatingmachine is gecoat, aanzienlijk kan verbeteren en de optische film met meer dan 30 lagen kan worden gecoat. De praktijk heeft bewezen dat deze vergelijkende plaatstructuur nuttig is en kan worden bevorderd en geïmplementeerd in de moderne optische vacuümcoatingindustrie.